| 序号 | 检测对象 | 项目/参数 | 标准方法 |
|---|---|---|---|
| 1 | N型重掺杂硅衬底材料 | 硼的浓度 | 二次离子质谱法测N型重掺杂硅衬底材料中硼污染Standard Test Method for Trace Metallic Impurities in Electronic Grade Aluminum by High Mass-Resolution Glow-Discharge Mass SpectrometerSEMI MF1528-0413 (reapproved 1018) |
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